熱式氣體質(zhì)量流量計是通過測量氣體流經(jīng)流量計內(nèi)加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量，即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應的函數(shù)關系來反映氣體的流量。

采用熱式原理測量的氣體質(zhì)量流量控制器具有壓損低、流量范圍度大、高精度、高重復性和高可靠性等特點。

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